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光刻机有后门吗：ASML能否远程关闭中国的光刻机

2025-6-9 13:03| 我来说几句 |来自: 快科技

摘要: 快科技6月9日消息，近日，荷兰光刻机巨头ASMLCEO傅恪礼（Christophe Fouquet）接受媒体采访时明确表示，美国出台的打压措施只会适得其反，让中国“更努力取得成功”。ASML是全球唯一一家高端光刻机的制造商。傅恪礼称， 中国已经开始研发一些国产光刻设备，尽管中国在赶超ASML的技术方面还有很长的路要走，但“你试图阻止的人会更加努力地取得成功。” 傅恪礼补充道： “无论你设置多少障碍都没用。” 据此前报道，中国科学院成功研发除了突破性的固态DUV(深紫外)激光，可发射193nm的相干光，与目前主流的DUV曝光波长一致，能将半导体工艺推进至3nm。在国产光刻机真正完成替代之前，我们依然需要使用ASML的DUV光刻机。那 ... 点击阅读全文 @ifeng.com

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